안티-블레이즈드 DMD를 이용한 해상도 향상 디지털 리소그래피

• Main Authors: LAIDIG THOMAS L, JEONG HWAN J
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 29.08.2019
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

본 개시내용의 실시예들은 일반적으로, 하나 이상의 기판들을 프로세싱하기 위한 방법들 및 장치에 관한 것으로, 더 구체적으로, 디지털 리소그래피 시스템들을 위한 개선된 공간 광 변조기들, 및 개선된 공간 광 변조기들을 사용하는 디지털 리소그래피 방법들에 관한 것이다. 공간 광 변조기는 인접 공간 광 변조기 픽셀들 사이에 180도 위상 시프트가 존재하도록 구성된다. 공간 광 변조기는 복수의 부분적으로 중첩되는 이미지들을 형성하여 픽셀 블렌딩에 유용하며, 복수의 부분적으로 중첩되는 이미지들 중 적어도 하나는 인접 공간 광 변조기 픽셀들의 제1 쌍에 의해 형성되는 적어도 2개의 픽셀들을 갖고, 그 인접 공간 광 변조기 픽셀들의 제1 쌍은 이들 사이에 180도 위상 시프트를 갖는다. 공간 광 변조기는 개선된 해상도, 초점 심도, 및 픽셀 블렌딩을 발생시킨다. Embodiments of the present disclosure generally relate to methods and apparatus for processing one or more substrates, and more specifically to improved spatial light modulators for digital lithography systems and digital lithography methods using improved spatial light modulators. The spatial light modulator is configured such that there is a 180-degree phase shift between adjacent spatial light modulator pixels. The spatial light modulator is useful for pixel blending by forming a plurality of partially overlapping images, at least one of the plurality of partially overlapping images having at least two pixels formed by a first pair of adjacent spatial light modulator pixels having a 180-degree phase shift therebetween. The spatial light modulator results in improved resolution, depth of focus, and pixel blending.