열가소성 물질 상의 플라스마 코팅 방법

• Main Authors: SHAFAEI SHAHRAM, VAN DE GRAMPEL ROBERT DIRK
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 09.05.2019
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

복합 재료, 및 이를 제조하는 방법은, 폴리카보네이트 기판 및 플라스마-강화 화학 증기 증착으로 형성된 층을 포함한다. 특히, 플라스마-강화 화학 증기 증착의 공정에 의해 형성된 필름은, 기판에 무선 주파수 바이어스를 인가하는 단계와; 안테나를 통해 공정 기체를 공급하는 단계를 포함하고, 여기에서, 안테나에 인가된 마이크로파 전력은 기판의 표면에서 공정 기체의 플라스마를 발생시켜 기판 위에 하나 이상의 층을 형성한다. 특정 양태에서, 필름은, 유리한 산소 투과율, 장벽 개선 인자, 광학 투과율, 표면 거칠기, 내약품성 및 표면 거칠기 특성 중 하나 이상(또는 모두)을 나타낸다. A composite material, and methods of making thereof, include a polycarbonate substrate and plasma-enhanced chemical vapor deposition formed layers. In particular, a film formed by a process of plasma-enhanced chemical vapor deposition includes: applying a radio frequency bias to a substrate; and supplying a process gas through an antennae, where microwave power applied to the antennae generates plasma of the process gas at the surface of the substrate thereby forming one or more layers on the substrate. In certain aspects the film exhibits one or more (or all) of favorable oxygen transmission rate, barrier improvement factor, optical transmission, surface roughness, chemical resistance and surface roughness properties.