구성요소 스태킹 및/또는 픽-앤드-플레이스 공정을 위한 다수 미니어처 픽업 요소들

• Main Authors: VERSCHUREN COEN ADRIANUS, HUANG YANG SHAN, POLYAKOV ALEXEY OLEGOVICH, DE JAGER PIETER WILLEM HERMAN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 21.01.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

복수의 이동가능한 홀더 구조체들, 및 복수의 픽-앤드-플레이스 구조체들을 포함하는 픽-앤드-플레이스 툴이 개시되고, 각각의 홀더 구조체는 픽-앤드-플레이스 구조체들 중 2 이상을 수용하며, 각각의 홀더 구조체의 2 이상의 픽-앤드-플레이스 구조체들 중 적어도 하나는 각각의 홀더 구조체의 2 이상의 픽-앤드-플레이스 구조체들 중 또 다른 적어도 하나와 독립적으로 각각의 홀더 구조체를 따라 이동할 수 있고, 각각의 픽-앤드-플레이스 구조체는 도너 구조체에서 도너 구성요소를 픽업하고 억셉터 구조체에 도너 구성요소를 배치하도록 구성되는 픽업 요소를 포함한다. A pick-and-place tool including a plurality of movable holder structures, and a plurality of pick-and-place structures, each holder structure accommodating two or more of the pick-and-place structures, wherein at least one of the two or more pick-and-place structures of a respective holder structure is able to move along a respective holder structure independently from another at least one of the two or more pick-and-place structures of the respective holder structure, and wherein each pick-and-place structure includes a pick-up element configured to pick up a donor component at a donor structure and place the donor component an acceptor structure.