마이크로 기계식 요 레이트 센서 및 그 제조 방법

• Main Authors: PRUETZ ODD AXEL, HEUCK FRIEDJOF, MAUL ROBERT, SCHMIDT BENJAMIN, HATTASS MIRKO, NEUL REINHARD, SCHEBEN ROLF, HOEPPNER CHRISTIAN, OHMS TORSTEN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 25.07.2018
• Subjects: GYROSCOPIC INSTRUMENTS; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; NAVIGATION; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; SURVEYING; TESTING

본 발명은 회전 진동 베어링(157)을 구비한 회전 진동체(140)를 포함한 마이크로 기계식 요 레이트 센서(100)에 관한 것이다. 회전 진동 베어링(157)은 로커 바(152), 상기 로커 바(152)를 요 레이트 센서(100)의 기판과 탄성으로 연결하는 로커 스프링 로드(154), 및 상기 로커 스프링 로드(154)의 반대 측면들 상에서 로커 바(152)를 회전 진동체(140)와 탄성으로 연결하는 2 개의 지지 스프링 로드들(153)을 포함한다. 다른 관점 하에서, 이러한 마이크로 기계식 요 레이트 센서(100)의 제조 방법이 제공된다. A micromechanical rate-of-rotation sensor includes a first Coriolis element. The micromechanical rate-of-rotation sensor further includes a first drive beam arranged along the first Coriolis element. The first drive beam is coupled via a first spring to the first Coriolis element. The micromechanical rate-of-rotation sensor further includes a first drive electrode carrier extending from the first drive beam in a direction opposite to the first Coriolis element. The first drive electrode carrier is configured to carry a multiplicity of first drive electrodes extending parallel to the first drive beam.