RF CERAMIC ELECTROSTATIC CHUCK INCLUDING EMBEDDED FARADAY CAGE FOR RF DELIVERY AND ASSOCIATED METHODS FOR OPERATION MONITORING AND CONTROL

• Main Authors: BENJAMIN NEIL MARTIN PAUL, POVOLNY HENRY, RICCI ANTHONY J
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 16.05.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOTDIRECTED TO A PARTICULAR RESULT; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g.ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERATION; MACHINE TOOLS; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OFPARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

A ceramic assembly is attached to a bowl-shaped lower support structure. The ceramic assembly has an upper surface configured to support the substrate. At least one clamp electrode is located in the upper region of the ceramic assembly. A primary RF power delivery electrode is positioned within the ceramic assembly at a location vertically below the at least one clamp electrode such that the area of the ceramic assembly between the primary RF power delivery electrode and the at least one clamp electrode is substantially free of other electrically conductive materials. The RF power delivery connection modules are distributed in a substantially uniform manner around the perimeter of the ceramic assembly. Each of the RF power delivery connection modules is configured to form an electrical connection from the lower support structure to the primary RF power delivery electrode at each location. 세라믹 어셈블리가 보울 형상을 가진 하부 지지 구조체에 부착된다. 세라믹 어셈블리는 기판을 지지하도록 구성된 상단 표면을 갖는다. 적어도 하나의 클램프 전극이 세라믹 어셈블리의 상부 영역 내에 위치된다. 1차 RF (radiofrequency) 전력 전달 전극과 적어도 하나의 클램프 전극 사이의 세라믹 어셈블리의 영역이 다른 전기적으로 도전성 재료가 실질적으로 없도록, 1차 RF 전력 전달 전극이 적어도 하나의 클램프 전극 수직으로 아래의 위치에서 세라믹 어셈블리 내에 위치된다. 복수의 RF 전력 전달 접속 모듈들이 세라믹 어셈블리의 둘레를 중심으로 실질적으로 균일한 방식으로 분포된다. RF 전력 전달 접속 모듈 각각은 각각의 위치에서 하부 지지 구조체부터 1차 RF 전력 전달 전극으로의 전기적 접속을 형성하도록 구성된다.