구동 및 검출 겸용 MEMS 요레이트 센서

• Main Authors: WELLNER PATRICK, HATTASS MIRKO, KUHLMANN BURKHARD
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 21.03.2018
• Subjects: GYROSCOPIC INSTRUMENTS; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; NAVIGATION; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; SURVEYING; TESTING

본 발명은 주 연장 평면을 구비한 기판과, 기판에 대해 상대 운동이 가능한 하나 이상의 구조를 포함하는 요레이트 센서에 관한 것이며, 구조는 주 연장 평면에 대해 실질적으로 평행한 구동 방향에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 진동을 하도록 구조 자신의 휴지 위치로부터 여기될 수 있고, 상기 요레이트 센서는 진동의 여기를 위해 구조와 함께 종동하는 하나 이상의 빗 모양 전극과, 기판에 상대적으로 고정되어 있는 하나 이상의 빗 모양 전극을 포함하고, 종동형 빗 모양 전극 및/또는 고정형 빗 모양 전극으로의 전압 인가를 통해 여기가 야기될 수 있으며, 종동형 빗 모양 전극 및 고정형 빗 모양 전극은, 구동 방향에 대해 실질적으로 수직인 검출 방향을 따르는 힘 성분으로 구조에 작용하는 힘 작용이 구동 방향에 대해 실질적으로 수직으로, 그리고 검출 방향에 대해 실질적으로 수직으로 연장되는 축을 중심으로 하는 요레이트 센서의 요레이트를 기반으로 검출될 수 있도록 형성된다. A rotation rate sensor including a substrate having a principal plane of extension, and a structure movable with respect to the substrate; the structure being excitable from a neutral position into an oscillation having a movement component substantially parallel to a driving direction, which is substantially parallel to the principal plane of extension. To induce the oscillation, the rotation rate sensor includes a comb electrode moved along with the structure and a comb electrode fixed in position relative to the substrate. The excitation is produced by applying a voltage to the moving comb electrode and/or to the stationary comb electrode. Due to a rotation rate of the rotation rate sensor about an axis running substantially perpendicularly to the driving direction and substantially perpendicularly to the detection direction, a force applied to the structure with a force component along a detection direction substantially perpendicular to the driving direction is detectable.