유리 기판 지지 장치 및 가요성 유리 기판 지지 제공 방법

• Main Authors: QAROUSH YOUSEF KAYED, SHAFRIR SHAI NEGEV
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 23.02.2018
• Subjects: CHEMISTRY; GLASS; MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES; METALLURGY; MINERAL OR SLAG WOOL

유리 기판 지지 시스템은 가요성 유리 기판의 대향하는 엣지를 따라 유리 기판 급송 방향에서 길이 방향으로 연장하는 제1 및 제2 진공 부재를 포함한다. 각 진공 부재는 그 내에 위치된 압력 챔버를 포함하는 진공 본체와, 그 내로 연장하며 압력 챔버와 소통하는 진공 개구부를 가지는 지지 표면을 가진다. 유리 기판 급송 방향에서 제1 및 제2 진공 부재 사이에 위치된 복수의 지지 막대를 포함하는 지지 막대 조립체가 제공된다. 지지 막대 조립체는 하향의 호 배향에서 가요성 유리 기판을 지지하는 면외 구성을 가진다. A glass substrate support system includes a first and second vacuum members extending lengthwise in a glass substrate feed direction along opposing edges of a flexible glass substrate. Each vacuum member has a vacuum body including a pressure chamber located therein and a support surface having a vacuum opening extending therethrough and in communication with the pressure chamber. A support rod assembly is provided that includes a plurality of support rods located between the first second vacuum members in the glass substrate feed direction. The support rod assembly has an out-of-plane configuration that supports the flexible glass substrate in a downward arc orientation.