기판 핸들링 및 가열 시스템

• Main Authors: MORADIAN ALA, LISCHER D. JEFFREY, WEAVER WILLIAM T, EVANS MORGAN D, SCHALLER JASON M, VOPAT ROBERT BRENT
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 15.01.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; BLASTING; DRYING; DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; SEMICONDUCTOR DEVICES; WEAPONS

로드 락과 플래튼 사이에서 이송되는 동안 기판들을 가열하기 위한 시스템이 개시된다. 시스템은 정렬 스테이션 위에 배치된 발광 다이오드(light emitting diode; LED)들의 어레이를 포함한다. LED들은 GaN 또는 GaP LED들일 수 있으며, 이들은 실리콘에 의해 용이하게 흡수되는 파장에서 광을 방출하며, 따라서 기판을 빠르고 효율적으로 가열한다. LED들은, 정렬 동안 기판의 회전이 기판의 균일한 온도 프로파일을 야기하도록 배열될 수 있다. 추가로, 정렬 동안 가열하는 것이 또한 스루풋을 증가시키고 현재 프로세싱...