ENVIRONMENTAL SYSTEM INCLUDING A TRANSPORT REGION FOR AN IMMERSION LITHOGRAPHY APPARATUS

광학 어셈블리 (16) 와 디바이스 (30) 사이의 갭 (246) 내의 환경을 제어하는 환경 시스템 (26) 은 유체 배리어 (254), 액침유체 시스템 (252), 및 운반 (transport) 영역 (256) 을 포함한다. 유체 배리어 (254) 는 디바이스 (30) 부근에 위치결정되고, 갭 (246) 부근의 운반 영역 (256) 을 유지한다. 액침유체 시스템 (252) 은 그 갭 (246) 을 채우는 액침유체 (248) 를 제공한다. 운반 영역 (256) 은 디바이스 (30) 로부터 떨어져서 유체 배리어 (254) 및 디바이스...

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Main Authors WATSON DOUGLAS C, NOVAK THOMAS W, HAZELTON ANDREW J
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 08.06.2017
Subjects
ACCESSORIES THEREFOR
APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USINGWAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES
APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FORPROJECTING OR VIEWING THEM
APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CINEMATOGRAPHY
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
ELECTROGRAPHY
HOLOGRAPHY
MATERIALS THEREFOR
ORIGINALS THEREFOR
PHOTOGRAPHY
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES
PHYSICS
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:광학 어셈블리 (16) 와 디바이스 (30) 사이의 갭 (246) 내의 환경을 제어하는 환경 시스템 (26) 은 유체 배리어 (254), 액침유체 시스템 (252), 및 운반 (transport) 영역 (256) 을 포함한다. 유체 배리어 (254) 는 디바이스 (30) 부근에 위치결정되고, 갭 (246) 부근의 운반 영역 (256) 을 유지한다. 액침유체 시스템 (252) 은 그 갭 (246) 을 채우는 액침유체 (248) 를 제공한다. 운반 영역 (256) 은 디바이스 (30) 로부터 떨어져서 유체 배리어 (254) 및 디바이스 (30) 부근에 있는 액침유체 (248) 의 적어도 일부를 운반한다. 액침유체 시스템 (252) 은 운반 영역 (256) 과 유체 소통하는 유체 제거 시스템 (282) 을 포함할 수 있다. 운반 영역 (256) 은 다공성 재료로 제조될 수 있다. An environmental system (26) for controlling an environment in a gap (246) between an optical assembly (16) and a device (30) includes a fluid barrier (245), an immersion fluid system (252), and a transport region (256). The fluid barrier (254) is positioned near the device (30) and maintains the transport region (256) near the gap (246). The immersion fluid system (252) delivers an immersion fluid (248) that fills the gap (246). The transport region (256) transports at least a portion of the immersion fluid (248) that is near the fluid barrier (254) and the device (30) away from the device (30). The immersion fluid system (252) can include a fluid removal system (282) that is in fluid communication with the transport region (256). The transport region (256) can be made of a porous material.
Bibliography:Application Number: KR20177014954