SOLID IMMERSION LENS HOLDER AND IMAGE ACQUISITION DEVICE

• Main Authors: TERADA HIROTOSHI, ARATA IKUO, IKESU MASATAKA
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 08.06.2017
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

고침 렌즈 홀더(8)는, 구면부(6a)의 일부가 대물 렌즈(21)측으로 돌출하도록 구면부(6a)를 내부에 배치하는 제1 개구(71)를 가지는 제1 부재(70)와, 맞닿음면(6f)이 대물 렌즈(21)측과는 반대측으로 돌출하도록 맞닿음부(6d)를 내부에 배치하는 제2 개구(87)를 가지는 제2 부재(80)를 구비한다. 제1 부재(70)는, 제1 개구(71)의 대물 렌즈(21)측에 설치된 3개의 판 부재(93)를 가지고 있다. 3개의 판 부재(93)의 각각에는, 구면부(6a)와 접촉 가능하게 구성된 돌출부(73)가 마련되어 있다. A solid immersion lens holder includes a first member having a first opening disposing a spherical face portion therein so that a part of the spherical face portion protrudes toward an objective lens side and a second member having a second opening disposing a contact portion therein so that a contact face protrudes toward a side opposite to the objective lens side. The first member includes three protrusion portions extending from an inner face of the first opening toward a center of the first opening and configured to be contactable with the spherical face portion.