PROCESS AND APPARATUS FOR PREPARATION OF OCTACHLOROTRISILANE

본 발명은 단량체성 클로로실란을 열 플라즈마에 노출시킴으로써 단량체성 클로로실란으로부터 옥타클로로트리실란을 제어된 방식으로 제조하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

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Main Authors RAULEDER HARTWIG, LANG JUERGEN ERWIN, MUEH EKKEHARD, MOUSSALLEM IMAD
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 28.12.2015
Subjects
CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY
CHEMISTRY
COMPOUNDS THEREOF
INORGANIC CHEMISTRY
METALLURGY
NON-METALLIC ELEMENTS
PERFORMING OPERATIONS
PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
THEIR RELEVANT APPARATUS
TRANSPORTING
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Summary:본 발명은 단량체성 클로로실란을 열 플라즈마에 노출시킴으로써 단량체성 클로로실란으로부터 옥타클로로트리실란을 제어된 방식으로 제조하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
Bibliography:Application Number: KR20157030655