System and method for matching and analyzing real-time process data of semiconductor equipment

• Main Authors: KIM EUNG SUK, KO, SUNG HUN, LEE SEOK CHAN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 05.06.2024
• Subjects: CALCULATING; COMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS; COMPUTING; CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; CONTROLLING; COUNTING; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS; PHYSICS; REGULATING; TESTING

본 발명은 반도체 장비의 실시간 공정 데이터를 매칭 및 분석하는 시스템에 관한 것으로, 고장 발생 전 예측으로 미리 대응하기 위한 반도체 장비의 실시간 공정 데이터를 매칭 및 분석하는 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 반도체 장비들로부터 실시간 공정 데이터를 수집하여 데이터 마이닝을 통해 분석하여 적절한 공정 파라미터를 도출하고, 반도체 장비들의 이상 발생 시점 전/후 데이터 시각화를 제공하는 시스템 및 그 방법을 제공하여 반도체/FPD 장비의 이상 발생시 실시간으로 수집된 공정 데이터를 이용하여 이상 발생 전/후 데이터를 시각화할 수 있다.