APPARATUS AND METHOD FOR MANAGEMENT OF RETICLE
본 발명은 레티클 관리 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공정 순서에 따라 입력된 레티클의 고유 번호화 작업자가 작업할 레티클의 고유번호를 비교, 판단하여 오작업을 방지하는 레티클 관리 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은 작업할 복수개의 웨이퍼에 부여된 로트 고유 번호와 상기 로트 고유 번호에 해당하는 공정 순서가 저장된 반도체의 호스트 컴퓨터와, 레티클 관리 프로그램이 저장된 레티클 관리용 서버와, 상기 호스트 컴퓨터에서 출력되는 데이터와 레티클 관리 서버에서 발생되는 데이타에 따라 복수개의 레티클을...
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| Main Author | |
|---|---|
| Format | Patent |
| Language | English Korean |
| Published |
15.10.1999
|
| Edition | 6 |
| Subjects | |
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| Abstract | 본 발명은 레티클 관리 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공정 순서에 따라 입력된 레티클의 고유 번호화 작업자가 작업할 레티클의 고유번호를 비교, 판단하여 오작업을 방지하는 레티클 관리 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은 작업할 복수개의 웨이퍼에 부여된 로트 고유 번호와 상기 로트 고유 번호에 해당하는 공정 순서가 저장된 반도체의 호스트 컴퓨터와, 레티클 관리 프로그램이 저장된 레티클 관리용 서버와, 상기 호스트 컴퓨터에서 출력되는 데이터와 레티클 관리 서버에서 발생되는 데이타에 따라 복수개의 레티클을 웨이퍼상에 노광하는 O.S.S 프로그램이 내장된 작업장내의 펏널 컴퓨터로 구성한다. |
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| AbstractList | 본 발명은 레티클 관리 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공정 순서에 따라 입력된 레티클의 고유 번호화 작업자가 작업할 레티클의 고유번호를 비교, 판단하여 오작업을 방지하는 레티클 관리 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은 작업할 복수개의 웨이퍼에 부여된 로트 고유 번호와 상기 로트 고유 번호에 해당하는 공정 순서가 저장된 반도체의 호스트 컴퓨터와, 레티클 관리 프로그램이 저장된 레티클 관리용 서버와, 상기 호스트 컴퓨터에서 출력되는 데이터와 레티클 관리 서버에서 발생되는 데이타에 따라 복수개의 레티클을 웨이퍼상에 노광하는 O.S.S 프로그램이 내장된 작업장내의 펏널 컴퓨터로 구성한다. |
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