MANUFACTURING METHOD FOR SOLAR CELL

• Main Authors: YOSHIO SARA, YAMAMOTO KAZUE, HONISHI YUYA, NISHIDA YASUTAKA, NAKAGAWA NAOYUKI, YAMAZAKI MUTSUKI, MIZUNO SACHITAMI, SHIBAZAKI SOICHIRO, WADA ATSUSHI
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 24.10.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

To provide a manufacturing method for a solar cell with excellent open-circuit voltage, a multi-junction type solar cell, a solar cell module, and a solar power generation system.SOLUTION: A manufacturing method for a solar cell includes the steps for forming a p-electrode on a substrate, forming a film mainly composed of copper suboxide and/or a composite oxide of copper suboxide on the p-electrode, and performing an oxidation process on the film mainly composed of copper suboxide and/or a composite oxide of copper suboxide. In the oxidation process, the oxygen partial pressure is 5000 [Pa] or more and 200000 [Pa] or less. In the oxidation process, the water vapor concentration is 9.4×10-1[g/m3] or more and 2.5×103[g/m3], the process temperature is 40 [°C] or more and 150 [°C] or less. In the oxidation process, the process time is 5 minutes or more and 150 minutes or less.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】本発明が解決しようとする課題は、開放電圧に優れた太陽電池の製造方法、多接合型太陽電池、太陽電池モジュール及び太陽光発電システムを提供する。【解決手段】実施形態の太陽電池の製造方法は、基板上にｐ電極が形成する工程と、ｐ電極上に亜酸化銅及び／又は亜酸化銅の複合酸化物を主体とする膜を形成する工程と、亜酸化銅及び／又は亜酸化銅の複合酸化物を主体とする膜に酸化処理を行なう工程とを含む。酸化処理において、酸素分圧は、５０００［Ｐａ］以上２０００００［Ｐａ］以下であり、酸化処理において、水蒸気濃度が９．４×１０－１［ｇ／ｍ３］以上２．５×１０３［ｇ／ｍ３］であり、酸化処理において、処理温度は、４０［℃］以上１５０［℃］以下であり、酸化処理において、処理時間は、５分以上１５０分以下である。【選択図】 図３