CASSETTE

To provide a cassette capable of easily grasping the processing status of wafers housed in the cassette.SOLUTION: A cassette for storing a wafer, provided with an information display plate for displaying rewritable information on the outer surface of the cassette. The information display plate can d...

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Main Author OKADA SHIGEFUMI
Format Patent
LanguageEnglish
Japanese
Published 14.08.2023
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:To provide a cassette capable of easily grasping the processing status of wafers housed in the cassette.SOLUTION: A cassette for storing a wafer, provided with an information display plate for displaying rewritable information on the outer surface of the cassette. The information display plate can display the processing status of the wafers accommodated in the cassette. Therefore, it is possible to easily grasp the processing status of the wafers accommodated in the cassette.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】カセットに収容されるウェーハの加工状況を容易に把握することが可能なカセットを提供する。【解決手段】ウェーハを収容するカセットであって、カセットの外面に書き換え可能な情報を表示する情報表示プレートが設けられているカセットを提供する。この情報表示プレートにおいては、カセットに収容されたウェーハの加工状況等を表示することができる。そのため、カセットに収容されたウェーハの加工状況等を容易に把握することが可能になる。【選択図】図２
Bibliography:Application Number: JP20220013873