GAS PURGE UNIT

• Main Authors: EMOTO ATSUSHI, IWAMOTO TADAMASA
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 11.07.2016
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas purge unit capable of introducing a purge gas to the entire transport container, by strengthening the direction of purification gas release.SOLUTION: A gas purge unit for introducing a purification gas into a container (2) having a main opening (2b) for loading and unloading a housing material, from the main opening, has a cylindrical blowoff member (22) where a long cavity (23) extending in the longitudinal direction, and supplied with the purification gas from a supply section, and a plurality of discharge paths (26) arranged in the longitudinal direction, and causing outflow of the purification gas in a direction crossing the longitudinal direction, by interconnecting the long cavity and the outside, are formed internally. The opening area A2 of an opening (26b) to the outside is smaller than opening area A1 of an opening (26a) to the long cavity, in the discharge paths.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】清浄化ガスの放出の方向性を強めることにより、搬送容器全体にパージガスを導入可能なガスパージユニットを提供する。【解決手段】収容物を出し入れするための主開口（２ｂ）を有する容器（２）の内部に、前記主開口から清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、長手方向に延在しており、供給部から前記清浄化ガスが供給される長空洞（２３）と、前記長手方向に沿って配列されており、前記長空洞と外部とを連通させ前記長手方向に交差する方向へ前記清浄化ガスを流出させる複数の放出流路（２６）と、が内部に形成されている筒状の吹き出し部材（２２）を有しており、前記放出流路は、前記長空洞への開口（２６ａ）の開口面積をＡ１とし、前記外部への開口（２６ｂ）の開口面積をＡ２とした場合、Ａ２はＡ１より小さいガスパージユニット。【選択図】図５