PROCEDE DE DOPAGE DE PLAQUES DE SILICIUM

Procédé de dopage d'une plaque de silicium pour fabriquer une cellule photovoltaïque, le procédé comprenant les étapes consistant à : - effectuer un premier dopage d'au moins une première partie (11) d'une surface (10) de la plaque de silicium, - former une couche d'oxyde (40) su...

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Main Authors BECHEVET BERNARD, JOURDAN JOHANN
Format Patent
LanguageFrench
Published 26.09.2014
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Summary:Procédé de dopage d'une plaque de silicium pour fabriquer une cellule photovoltaïque, le procédé comprenant les étapes consistant à : - effectuer un premier dopage d'au moins une première partie (11) d'une surface (10) de la plaque de silicium, - former une couche d'oxyde (40) sur la surface (10) partiellement dopée, - effectuer un deuxième dopage au travers de la couche d'oxyde (40), de sorte à doper une autre partie (12) de la surface (10) de la plaque de silicium. A method of doping a silicon wafer in order to fabricate a photovoltaic cell, the method comprising the steps consisting in: performing a first doping operation of at least a first portion (11) of a surface (10) of the silicon wafer; forming an oxide layer (40) on the partially doped surface (10); and performing a second doping operation through the oxide layer (40), so as to dope another portion (12) of the surface (10) of the silicon wafer.
Bibliography:Application Number: FR20130000650