METHOD AND APPARATUS FOR SORTING AND ALIGNING SEMICONDUCTOR WAFERS

Verfahren zum Sortieren und Ausrichten von Halbleiterscheiben, umfassend die folgenden Schritte: Erkennung einer ersten Halterung für mehrere Halbleiterscheiben und deren Beladungszustand, Entnahme einer Halbleiterscheibe aus der ersten Halterung; Ausrichtung der Halbleiterscheibe gemäß einer vorgeg...

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Bibliographic Details
Main Author	Moos, Patrick
Format	Patent
Language	English French German
Published	12.06.2024
Subjects	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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