ELECTRICALLY CONDUCTIVE ELEMENT

L'invention concerne un dispositif microélectronique comprenant un support (1) et un élément électriquement conducteur comprenant en empilement et successivement au-dessus d'une première face du support (1), une première couche à base d'un métal et une deuxième couche, au contact de l...

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Main Authors RODRIGUEZ, Guillaume, TESSAIRE, Magali, DUBARRY, Christophe, HALIMAOUI, Aomar
Format Patent
LanguageEnglish
French
German
Published 19.05.2021
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRICITY
PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSIONOF CHEMICAL INTO ELECTRICAL ENERGY
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Summary:L'invention concerne un dispositif microélectronique comprenant un support (1) et un élément électriquement conducteur comprenant en empilement et successivement au-dessus d'une première face du support (1), une première couche à base d'un métal et une deuxième couche, au contact de la première couche, à base d'un matériau choisi parmi le MoSix et le WSiy. A microelectronic device is provided, including: a support; and an electrically conductive element including in a stack and successively above a first face of the support, a first layer based on a metal and a second layer, in contact with the first layer, based on a material selected from among MoSi and WSiy. A method for manufacturing the microelectronic device is also provided.
Bibliography:Application Number: EP20200207316