SENSOR DEVICE AND METHOD FOR OPERATING A SENSOR DEVICE

Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung mit mindestens einer Antriebsmasse (10), und mindestens einer Detektionsmasse (18), wobei die mindestens eine Detektionsmasse (18) derart über zumindest eine Koppelstruktur (20) an der mindestens einen Antriebsmasse (10) gekoppelt ist, dass die mindesten...

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Main Authors MEISEL, DANIEL CHRISTOPH, NEUL, REINHARD, HOEPPNER, CHRISTIAN
Format Patent
LanguageEnglish
French
German
Published 23.12.2015
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