SENSOR DEVICE AND METHOD FOR OPERATING A SENSOR DEVICE
Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung mit mindestens einer Antriebsmasse (10), und mindestens einer Detektionsmasse (18), wobei die mindestens eine Detektionsmasse (18) derart über zumindest eine Koppelstruktur (20) an der mindestens einen Antriebsmasse (10) gekoppelt ist, dass die mindesten...
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Format | Patent |
Language | English French German |
Published |
23.12.2015
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