Process for the production of work pieces with a surface layer of carbon

• Main Authors: WAELBROECK, FRANCOIS, WIENHOLD, PETER, WINTER, JOERG, ESSER, HANS-GUENTER
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 16.03.1988
• Edition: 4
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Beschichtung von Werkstücken mit amorphem, wasserstoffhaltigem Kohlenstoff, bei dem zur besseren Haftung der Kohlenstoffschicht zunächst eine Zwischenschicht mit einem Haftvermittler auf das Werkstück aufgebracht wird. Gemäß der Erfindung werden als Material für die Zwischenschicht Metalle genannt. In zweckmäßiger Ausgestaltung des Verfahrens gemäß der Erfindung werden Verfahrensschritte zur Reinigung der zu beschichtenden Oberfläche angewendet, wobei diese Oberflächen einem Wasserstoffatome und/oder -ionen enthaltenden Wasserstoffstrom ausgesetzt werden. Workpieces are coated with amorphous, hydrogen-containing carbon, an interlayer with an adhesion promoter being first applied to the workpiece to improve the adhesion of the carbon layer. In the invention, metals are mentioned as the material for the interlayer. In an advantageous embodiment of the process of the invention, process steps are employed for purifying the surface to be coated, these surfaces being exposed to a hydrogen stream which contains atoms and/or ions of hydrogen.