DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING DEFECTS OF A TRANSPARENT OR SPECULAR SUBSTRATE BY ITS OPTICAL PROPERTIES IN TRANSMITTED OR REFLECTED LIGHT CORRESPONDINGLY

• Main Authors: PICHON Michel, DAVENNE Franc
• Format: Patent
• Language: English; Russian
• Published: 28.04.2017
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

The present invention relates to an analysis device (1) for analysing the transparent or specular surface of a substrate (2), said device comprising a raster (10) located opposite the surface of the substrate to be measured, a video camera (3) for capturing at least one image of the raster deformed by the measured substrate, a raster lighting system (4), and an image-processing and digital analysis means (5) connected to the video camera (3). According to the invention, the video camera (3) is a matrix array camera, wherein the raster (10) is provided on a substrate (11) having an oblong shape and is bidirectional and it comprises a first pattern (10a) extending along a first direction and along the smallest extension of the substrate, the first pattern being transversely periodical to the smallest extension, and a second pattern (10b) extending in a second direction perpendicular to the first pattern and along the largest extension of the substrate. Изобретение относится к устройству (1) анализа прозрачной или зеркальной поверхности подложки (2), содержащему миру (10), располагаемую напротив поверхности исследуемой подложки, камеру (3) для съемки по меньшей мере одного изображения миры, деформированного исследуемой подложкой, систему (4) освещения миры и средства (5) обработки изображения и цифрового анализа, которые связаны с камерой (3). Согласно изобретению камера (3) является матричной, при этом мира (10) скомпонована на держателе (11) вытянутой формы, является двунаправленной и содержит первый рисунок (10а), проходящий в первом направлении и по более короткой протяженности держателя, причем этот первый рисунок является периодическим в поперечном направлении к короткой протяженности, и второй рисунок (10b), проходящий во втором направлении, перпендикулярном к первому рисунку, и по длинной протяженности держателя.