System und Verfahren zur Kompensation von Fehlausrichtungen von Beleuchtungsstrahlung

• Main Authors: Auyeung, Kwan, Xu, Zhiwei Steve, Swisher, Timothy, Li, Frank, Yuditsky, Yury
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 14.02.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Ein System umfasst eine Strahllenkungsanordnung, die konfiguriert ist, um einen einfallenden Strahl einzustellen, um einen korrigierten Strahl zu bilden; eine Strahlüberwachungsanordnung, die konfiguriert ist, um Überwachungsdaten für den korrigierten Strahl einschließlich eines oder mehrerer Offset-Parameter des korrigierten Strahls zu erzeugen; und eine Steuerung, die konfiguriert ist, um einen oder mehrere Nullparameter des korrigierten Strahls zu speichern, mindestens eine Differenz zwischen dem einen oder den mehreren Nullparametern und dem einen oder den mehreren Offset-Parametern des korrigierten Strahls zu berechnen, eine oder mehrere Strahlpositionsanpassungen des einfallenden Strahls zu bestimmen basierend auf der mindestens einen Differenz zwischen dem einen oder den mehreren Nullparametern und dem einen oder den mehreren Offset-Parametern des korrigierten Strahls und die Strahlsteuerungsanordnung mittels eines oder mehrerer Motortreiber zu lenken, um einen oder mehrere Motoren zum Einstellen des einfallenden Strahls zu betätigen, um den korrigierten Strahl zu bilden. A system includes a beam steering assembly configured to adjust an incident beam to form a corrected beam; a beam monitoring assembly configured to generate monitoring data for the corrected beam including one or more offset parameters of the corrected beam; and a controller configured to store one or more zero parameters of the corrected beam, calculate at least one difference between the one or more zero parameters and the one or more offset parameters of the corrected beam, determine one or more beam position adjustments of the incident beam based on the at least one difference between the one or more zero parameters and the one or more offset parameters of the corrected beam, and direct the beam steering assembly via one or more motor drivers to actuate one or more motors to adjust the incident beam to form the corrected beam.