VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG ELEKTRISCH PROGRAMMIERBARERBACK-END-SICHERUNG

• Main Authors: Simon, Andrew H, Filippi, Ronald G, Choi, Samuel S, Lustig, Naftali E, Chanda, Kaushik, Bao, Junjing, Bonilla, Griselda, Grunow, Stephan, IBM Corp, Moy, Dan
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 17.10.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Verfahren zum Bilden einer BEOL-E Sicherung (424a), aufweisend:Bereitstellen einer Struktur, die eine Hartmaske (426) über einer ersten Dielektrikumsschicht (415) einschließt, wobei die Hartmaske auch über einer zweiten Dielektrikumsschicht (425) angeordnet ist, wobei die zweite Dielektrikumsschicht...