VERSTEIFUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTS

• Main Authors: Prochnau, Lea, Liebaug, Bjoern
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 22.12.2022
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Anordnung einer Abbildungseinrichtung für die Mikrolithographie, insbesondere für die Verwendung von Licht im extremen UV-Bereich (EUV), mit einem optischen Element (110), und wenigstens einem Versteifungselement (111), das mit dem optischen Element (110) verbunden ist, wobei das optische Element (110) eine optische Fläche (110.2) und mehrere voneinander beabstandete Schnittstellen (110.3) zum Halten des optischen Elements in der Abbildungseinrichtung aufweist. Das optische Element (110) definiert eine Haupterstreckungsebene, in der das optische Element (110) eine erste Richtung und eine quer zur ersten Richtung verlaufende zweite Richtung definiert. Das Versteifungselement (111) weist parallel zu der Haupterstreckungsebene in der einer ersten Versteifungszone (111.3) in einer ersten Versteifungsrichtung eine erste Steifigkeit auf und in der einer zweiten Versteifungsrichtung eine zweite Steifigkeit, wobei die zweite Versteifungsrichtung quer zur der ersten Versteifungsrichtung verläuft und die erste Steifigkeit höher ist als die zweite Steifigkeit. Das Versteifungselement (111) weist parallel zu der Haupterstreckungsebene in einer zweiten Versteifungszone (111.4) in einer dritten Versteifungsrichtung eine dritte Steifigkeit und in einer vierten Versteifungsrichtung eine vierte Steifigkeit auf, wobei die erste Versteifungszone (111.3) von der zweiten Versteifungszone (111.4) verschieden ist, die vierte Versteifungsrichtung quer zur der dritten Versteifungsrichtung verläuft, die dritte Steifigkeit höher ist als die vierte Steifigkeit und die dritte Versteifungsrichtung geneigt zur der ersten Versteifungsrichtung verläuft und/oder die dritte Steifigkeit höher ist als die erste Steifigkeit.