Acetale von Tricyclodecanalkoholen als Immersionsflüssigkeitsmedien

• Main Authors: Krieg, Matthias, Jäger, Jakob Benedikt
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 29.02.2024
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CHEMISTRY; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HETEROCYCLIC COMPOUNDS; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; METALLURGY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; ORGANIC CHEMISTRY; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

Die Erfindung betrifft Immersionsflüssigkeiten und Verfahren zur Herstellung dafür geeigneter Komponenten. Beschrieben wird eine Immersionsflüssigkeit, insbesondere für die Mikroskopie, die ein oder mehrere Acetale von Tricyclodecanalkoholen als Hauptbestandteil enthält, wobei ein Tricyclodecanalkohol eine Verbindung ist, deren Struktur das Grundgerüst von Tricyclo[5.2.1.02,6]decan und mindestens eine OH-Gruppe aufweist, und wobei in dem Acetal sämtliche OH-Gruppen des Tricyclodecanalkohols acetalisiert sind. Beschrieben werden auch 3(4),8(9)-Bis(tetrahydropyran-2-yl-oxymethyl)-tricyclo[5.2.1.02,6]decan oder 8-Tetrahydropyran-2-yl-oxymethyl-tricyclo[5.2.1.02,6]decan und deren Herstellung, sowie die Verwendung von Acetalen von Tricyclodecanalkoholen als Hauptbestandteil einer Immersionsflüssigkeit. An immersion liquid, especially for microscopy, contains one or more acetals of tricyclodecane alcohols as its main constituent, wherein a tricyclodecane alcohol is a compound of which the structure has the base skeleton of tricyclo[5.2.1.02,6]decane and at least one OH group, and wherein all OH groups of the tricyclodecane alcohol have been acetalized in the acetal. Also described are 3(4),8(9)-bis(tetrahydropyran-2-yloxymethyl)tricyclo[5.2.1.02,6]decane or 8-tetrahydropyran-2-yloxymethyltricyclo[5.2.1.02,6]decane and the preparation thereof, and the use of acetals of tricyclodecane alcohols as the main constituent of an immersion liquid. A process for preparing an acetal of a tricyclodecane alcohol involves reacting a tricyclodecane alcohol with an acetalizing agent in the presence of an acid.