Messsystem und Messverfahren

• Main Authors: Fantini, Douglas Marques, Kossira, Martin
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 09.03.2023
• Subjects: ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT; MEASURING; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK; MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; TARIFF METERING APPARATUS; TESTING; TRANSPORTING

Die Erfindung betrifft ein Messsystem mit mindestens einer mikroelektromechanischen, MEMS,-Messeinrichtung und einer Auswerteeinrichtung. Jede MEMS-Messeinrichtung umfasst einen Speicher sowie einen Zähler, welcher dazu ausgebildet ist, mit einer Zählfrequenz in Inkrementierschritten einen in dem Sp...