Rückkopplungssensor für MEMS-Spiegel

• Main Authors: Del Gaizo, Steven A, Kuenlin, Vincent
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 21.04.2022
• Subjects: MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; TRANSPORTING

Eine Anordnung eines optischen Spiegels enthält einen Spiegel mit einer reflektierenden Oberfläche und mit einer hinteren Oberfläche, die der reflektierenden Oberfläche gegenüberliegt. Der Spiegel wird um eine erste Achse oder um eine zweite Achse, die senkrecht zu der ersten Achse ist, gekippt. Außerdem enthält die Anordnung eines optischen Spiegels eine invertierte lichtemittierende Vorrichtung (LED) eines Rückkopplungssensors, die dafür ausgelegt ist, Licht auf die hintere Oberfläche des Spiegels zu emittieren, und vier Fotodioden des Rückkopplungssensors, die dafür ausgelegt sind, reflektiertes Licht zu empfangen, das von der hinteren Oberfläche des Spiegels, die das durch die invertierte LED emittierte Licht reflektiert, kommt. Jede der vier Fotodioden ist in einem anderen von vier Quadranten angeordnet, die durch die erste Achse und durch die zweite Achse und durch die invertierte LED, die in einem Mittelpunkt der vier Fotodioden angeordnet ist, definiert sind. An optical mirror assembly includes a mirror with a reflective surface and a back surface, opposite the reflective surface. The mirror is tilted around a first axis or a second axis, perpendicular to the first axis. The optical mirror assembly also includes an inverted light emitting device (LED) of a feedback sensor arranged to emit light onto the back surface of the mirror, and four photodiodes of the feedback sensor arranged to receive reflected light resulting from the back surface of the mirror reflecting the light emitted by the inverted LED. Each of the four photodiodes is disposed in a different one of four quadrants defined by the first axis and the second axis and the inverted LED being disposed at a center of the four photodiodes.