Anordnung und Verfahren zum Vermessen eines Messobjekts

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Vermessen eines Messobjekts (10), insbesondere zur Bestimmung von Koordinaten des Messobjekts (10), wobei die Anordnung Folgendes aufweist:- eine Bewegungseinrichtung (3, 4), die ausgestaltet ist, einen während eines Betriebes der Anordnung an der Anordnung...

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Main Authors Grupp, Günter, Bernhardt, Ralf
Format Patent
LanguageGerman
Published 10.02.2022
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Abstract Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Vermessen eines Messobjekts (10), insbesondere zur Bestimmung von Koordinaten des Messobjekts (10), wobei die Anordnung Folgendes aufweist:- eine Bewegungseinrichtung (3, 4), die ausgestaltet ist, einen während eines Betriebes der Anordnung an der Anordnung gehaltenen Sensor (7), welcher zur Erfassung des Messobjekts (10) ausgestaltet ist, relativ zu dem Messobjekt (10) zu bewegen,- eine Aktuatoreinrichtung (8), über die der Sensor (7) während des Betriebes der Anordnung mit der Bewegungseinrichtung (3, 4) gekoppelt ist und die ausgestaltet ist, Schwingungsbewegungen des Sensors (7) mindestens teilweise zu kompensieren,- eine Schwingungsmesseinrichtung (9), die ausgestaltet ist, Informationen über Schwingungen der Anordnung und/oder des Sensors (7) durch Messung zumindest einer Messgröße zu erzeugen,- eine Steuereinrichtung (19), die mit der Schwingungsmesseinrichtung (9) und der Aktuatoreinrichtung (8) verbunden ist und die ausgestaltet ist, die Aktuatoreinrichtung (8) derart anzusteuern, dass die Schwingungsbewegungen des Sensors (7) mindestens teilweise kompensiert werden.
AbstractList Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Vermessen eines Messobjekts (10), insbesondere zur Bestimmung von Koordinaten des Messobjekts (10), wobei die Anordnung Folgendes aufweist:- eine Bewegungseinrichtung (3, 4), die ausgestaltet ist, einen während eines Betriebes der Anordnung an der Anordnung gehaltenen Sensor (7), welcher zur Erfassung des Messobjekts (10) ausgestaltet ist, relativ zu dem Messobjekt (10) zu bewegen,- eine Aktuatoreinrichtung (8), über die der Sensor (7) während des Betriebes der Anordnung mit der Bewegungseinrichtung (3, 4) gekoppelt ist und die ausgestaltet ist, Schwingungsbewegungen des Sensors (7) mindestens teilweise zu kompensieren,- eine Schwingungsmesseinrichtung (9), die ausgestaltet ist, Informationen über Schwingungen der Anordnung und/oder des Sensors (7) durch Messung zumindest einer Messgröße zu erzeugen,- eine Steuereinrichtung (19), die mit der Schwingungsmesseinrichtung (9) und der Aktuatoreinrichtung (8) verbunden ist und die ausgestaltet ist, die Aktuatoreinrichtung (8) derart anzusteuern, dass die Schwingungsbewegungen des Sensors (7) mindestens teilweise kompensiert werden.
Author Grupp, Günter
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