Mikromechanische Struktur, mikromechanisches System und Verfahren zum Bereitstellen einer mikromechanischen Struktur

Eine mikromechanische Vorrichtung umfasst ein Substrat, ein bewegliches Element, das in einem unausgelenkten Zustand in einer Referenzebene angeordnet ist, eine Getriebestruktur mit einer ersten Getriebeseite, die mit dem Substrat gekoppelt ist, und mit einer zweiten Getriebeseite, die mit dem beweg...

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Main Authors Drabe, Christian, Dreyhaupt, André
Format Patent
LanguageGerman
Published 27.08.2020
Subjects
MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES
MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
PERFORMING OPERATIONS
PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
TRANSPORTING
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Abstract Eine mikromechanische Vorrichtung umfasst ein Substrat, ein bewegliches Element, das in einem unausgelenkten Zustand in einer Referenzebene angeordnet ist, eine Getriebestruktur mit einer ersten Getriebeseite, die mit dem Substrat gekoppelt ist, und mit einer zweiten Getriebeseite, die mit dem beweglichen Element gekoppelt ist, und einen Aktuator, der ausgebildet ist, um eine Kraft entlang einer Kraftrichtung parallel zu der Referenzebene bereitzustellen und an die erste Getriebeseite anzulegen. Die Getriebestruktur ist ausgebildet, um die Kraft entlang der Kraftrichtung in eine Bewegung des beweglichen Elements aus der Referenzebene heraus zu überführen.
AbstractList Eine mikromechanische Vorrichtung umfasst ein Substrat, ein bewegliches Element, das in einem unausgelenkten Zustand in einer Referenzebene angeordnet ist, eine Getriebestruktur mit einer ersten Getriebeseite, die mit dem Substrat gekoppelt ist, und mit einer zweiten Getriebeseite, die mit dem beweglichen Element gekoppelt ist, und einen Aktuator, der ausgebildet ist, um eine Kraft entlang einer Kraftrichtung parallel zu der Referenzebene bereitzustellen und an die erste Getriebeseite anzulegen. Die Getriebestruktur ist ausgebildet, um die Kraft entlang der Kraftrichtung in eine Bewegung des beweglichen Elements aus der Referenzebene heraus zu überführen.
Author Drabe, Christian
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