AUTOMATISIERTES INSPEKTIONSWERKZEUG
Einige Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung betreffen ein Verarbeitungswerkzeug. Das Werkzeug weist ein Gehäuse auf, das eine Verarbeitungskammer einschließt, und einen Eingangs-/Ausgangsport, der eingerichtet ist, um einen Wafer durch das Gehäuse in die Verarbeitungskammer und aus ihr her...
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Format | Patent |
Language | German |
Published |
31.01.2019
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