Dünnschichtiges piezoelektrisches Element, dünnschichtiges piezoelektrisches Stellglied, dünnschichtiger piezoelektrischer Sensor, Festplattenlaufwerk und Tintenstrahldrucker-Einrichtung

• Main Authors: SAKUMA, HITOSHI, MAEJIMA, KAZUHIKO
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 23.07.2015
• Subjects: ARTIFICIAL STONE; CEMENTS; CERAMICS; CHEMISTRY; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDINGMATERIALS; CONCRETE; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS; ELECTRICITY; i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; LIME, MAGNESIA; LINING MACHINES; METALLURGY; PERFORMING OPERATIONS; PRINTING; REFRACTORIES; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS; SLAG; STAMPS; TRANSPORTING; TREATMENT OF NATURAL STONE; TYPEWRITERS

Es ist eine Aufgabe, die Versatzgröße eines dünnschichtigen piezoelektrischen Elements zu erhöhen, welches eine piezoelektrische Dünnschicht umfasst, welche eine uneben geformte Kontaktfläche mit der planaren Form hat, und wobei der Schichtaufbau von dem dünnschichtigen piezoelektrischen Element unv...