Dünnschichtiges piezoelektrisches Element, dünnschichtiges piezoelektrisches Stellglied, dünnschichtiger piezoelektrischer Sensor, Festplattenlaufwerk und Tintenstrahldrucker-Einrichtung

• Main Authors: SAKUMA, HITOSHI, MAEJIMA, KAZUHIKO
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 23.07.2015
• Subjects: ARTIFICIAL STONE; CEMENTS; CERAMICS; CHEMISTRY; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDINGMATERIALS; CONCRETE; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS; ELECTRICITY; i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; LIME, MAGNESIA; LINING MACHINES; METALLURGY; PERFORMING OPERATIONS; PRINTING; REFRACTORIES; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS; SLAG; STAMPS; TRANSPORTING; TREATMENT OF NATURAL STONE; TYPEWRITERS

Es ist eine Aufgabe, die Versatzgröße eines dünnschichtigen piezoelektrischen Elements zu erhöhen, welches eine piezoelektrische Dünnschicht umfasst, welche eine uneben geformte Kontaktfläche mit der planaren Form hat, und wobei der Schichtaufbau von dem dünnschichtigen piezoelektrischen Element unverändert verbleibt. Das dünnschichtige piezoelektrische Element umfasst ein Paar von Elektrodenschichten und eine piezoelektrische Dünnschicht, welche zwischen dem Paar von Elektrodenschichten zwischengelegt ist, wobei eine Flächenrauigkeit P-V von einer Schnittstelle zwischen der piezoelektrischen Dünnschicht und wenigstens einer von dem Paar von Elektrodenschichten gleich 220 nm oder mehr und 500 nm oder weniger beträgt. An object is to increase the amount of displacement of a thin-film piezoelectric element including a piezoelectric thin film having an uneven-shaped contact surface with the planar shape and the layer structure of the thin-film piezoelectric element kept unchanged. The thin-film piezoelectric element includes a pair of electrode layers and a piezoelectric thin film sandwiched between the pair of electrode layers, in which a surface roughness P-V of an interface between the piezoelectric thin film and at least one of the pair of electrode layers is 220 nm or more and 500 nm or less.