Thermoakustischer Ultraschallwandler

Elektro-thermo-akustisches Wandlerelement (100, 101, 102 103), umfassend ein dielektrisches Substrat (10, 15) und einen stoffschlüssig auf dem Substrat angeordneten Dünnschichtaufbau, umfassend eine elektrisch leitende Dünnschicht (20) mit zwei zueinander beabstandeten Kontakten (60), die elektrisch...

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Main Authors KREUTZBRUCK, MARC, HARRER, ANDREA, DASCHEWSKI, MAXIM, MEYER-PLATH, ASMUS, BECK, UWE, PRAGER, JENS, WEISE, MATTHIAS, GUDERIAN, MATTHIAS, LANGE, THORID
Format Patent
LanguageGerman
Published 06.08.2015
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Summary:Elektro-thermo-akustisches Wandlerelement (100, 101, 102 103), umfassend ein dielektrisches Substrat (10, 15) und einen stoffschlüssig auf dem Substrat angeordneten Dünnschichtaufbau, umfassend eine elektrisch leitende Dünnschicht (20) mit zwei zueinander beabstandeten Kontakten (60), die elektrisch leitend mit der elektrisch leitenden Dünnschicht (20) verbunden sind, wobei die Dünnschicht zumindest ein erstes Metall umfasst.
Bibliography:Application Number: DE201410101287