Mikromechanisches Bauteil, Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil und Verfahren zum Montieren eines mikromechanischen Bauteils

• Main Authors: ROJAHN, MARTIN, LUDWIG, MATTHIAS
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 20.11.2014
• Subjects: ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILSOF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INSTRUMENT DETAILS; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TARIFF METERING APPARATUS; TESTING; TRANSPORTING

Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einem Sensorchip (10), auf und/oder in welchem mindestens ein Sensorelement (12) angeordnet ist, und einer aus einem Spritzgussmaterial geformten Umhüllung (14), welche den Sensorchip (10) zumindest teilweise derart umhüllt, dass mindestens ein Teilbereich mindestens einer Oberfläche des Sensorchips (10) mittels des Spritzgussmaterials luftdicht abgedeckt ist, wobei mindestens ein Kanal (24) in dem Spritzgussmaterial geformt ist, welcher von einer äußeren Umgebung (26) der Umhüllung (14) gerade oder ungerade derart lang auf das mindestens eine Sensorelement (12) zu verläuft, dass in Abhängigkeit von mindestens einer physikalischen Eigenschaft und/oder zumindest einer chemischen Teilzusammensetzung eines in dem mindestens einen Kanal (24) vorliegenden Mediums eine Formänderung und/oder eine chemische Konsistenzänderung von zumindest einem Teil des mindestens einen Sensorelements (12) bewirkbar ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Montieren eines mikromechanischen Bauteils in einem Fahrzeug. A micromechanical component having a sensor chip is described, on and/or in which at least one sensor element is disposed, and a cladding, formed of an injection-molding material, encloses the sensor chip in such a way that at least one partial area of a surface of the sensor chip is covered in airtight fashion by the injection-molding material. At least one channel is formed in the injection-molding material, which takes a course, straight or not straight, from an outer surrounding area of the cladding toward the at least one sensor element of such a length that a change in shape and/or a change in chemical consistency of at least one part of the at least one sensor element is able to be brought about as a function of at least one physical property and/or at least one chemical partial composition of a medium present in the at least one channel.