Verfahren zum Transport von Substraten in Vakuumbeschichtungseinrichtungen

• Main Authors: DUTKOWIAK, ANDREAS, HUHN, MICHAEL, SCHIMMING, MARCO, GOTTSMANN, LUTZ, WILLKOMMEN, UDO, WAYDBRINK, HUBERTUS VON DER
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 22.08.2013
• Subjects: CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; GLASS; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS; METALLURGY; MINERAL OR SLAG WOOL; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Verfahren zum Transport von Glassubstraten (10) in Vakuumbeschichtungseinrichtungen, bei dem Glassubstrate (10) in einer Vakuumkammer (1) auf einer Transporteinrichtung stehend oder liegend in einer Transportrichtung (9) an einer Behandlungseinrichtung vorbei bewegt werden, wobei das Glassubstrat (10) im Bereich der Behandlungseinrichtung Temperaturen im Bereich der Erweichungstemperatur und darüber ausgesetzt wird und temperaturbedingte, die Qualität des Prozesses ungünstig beeinflussende Effekte durch abwechselnde Bewegung des Glassubstrates (10) in der Transportrichtung (9) und entgegengesetzt zur Transportrichtung (9) verhindert werden.