Thermal air mass sensor with low contamination sensitivity has external dimensions of conducting tracks defining sensor region of measurement surface smaller than measurement surface by 1.5 to 4, preferably 2 to 4, particularly preferably 3

• Main Authors: KONZELMANN, UWE, WAGNER, ULRICH, RENNINGER, ERHARD, OPITZ, BERNHARD
• Format: Patent
• Language: English; German
• Published: 28.12.2006
• Subjects: MEASURING; MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUIDLEVEL; METERING BY VOLUME; PHYSICS; TESTING

The sensor has a sensor chip (110) with a chip surface over which the air mass flows with a measurement surface (114), a main surface (112) with a higher conductivity than the measurement surface and conducting tracks (128) of a central hot film air mass measurement circuit on the measurement surface. The external dimensions of the conducting tracks define a sensor region (136) of the measurement surface, whereby the measurement surface is larger than the sensor region by a factor of 1.5 to 4, preferably 2 to 4 and particularly preferably 3. Es wird ein Heißfilmluftmassenmesser zur Messung eines mit einer Hauptströmungsrichtung (122) strömenden Luftmassenstroms, insbesondere im Ansaugtrakt einer Verbrennungskraftmaschine, vorgeschlagen. Der Heißfilmluftmassenmesser weist einen Sensorchip (110) mit einer vom Luftmassenstrom überströmbaren Oberfläche auf. Die Chipoberfläche weist ihrerseits eine Messoberfläche (114) und eine Festlandsoberfläche (112) auf, wobei der Sensorchip (110) im Bereich der Messoberfläche (114) eine um mindestens eine Größenordnung geringere Leitfähigkeit aufweist als im Bereich der Festlandsoberfläche (112). Dabei sind auf die Messoberfläche (114) Leiterbahnen (128) einer zentralen Heißfilmluftmassenmmesserschaltung aufgebracht. Die äußeren Abmessungen der Leiterbahnen (128) definieren einen Sensorbereich (136) der Messoberfläche (114). Die Messoberfläche (114) ist um einen Faktor 1,5 bis 4,5, vorzugsweise einen Faktor 2 bis 4, und besonders bevorzugt einen Faktor 3, größer als der Sensorbereich (136).