场发射扫描电子显微镜 (2023)
本实用新型公开了一种场发射扫描电子显微镜，所述场发射扫描电子显微镜包括源方束张角控制镜、物镜、设于所述源方束张角控制镜和所述物镜之间的像方束张角控制镜、设于所述源方束张角控制镜和所述像方束张角控制镜之间的光圈，所述源方束张角控制镜设有第一极靴，所述像方束张角控制镜设有第二极靴，所述物镜设有第三极靴，所述第一极靴与所述光圈之间、所述光圈与所述第二极靴之间、所述第二极靴与所述第三极靴之间，其中的至少一处设有对中线圈。根据本实用新型实施例的场发射扫描电子显微镜，一方面能实现束流可调节和束张角优化的高度解耦，另一方面可以有效提高电子束调节的自由度，提高电子束与磁透镜的对中效果。