METHOD FOR DIVIDING A TRANSPARENT WORKPIECE

• Main Authors: CHAMBONNEAU, MAXIME, KUMKAR, MALTE, NOLTE, STEFAN, BLOTHE, MARKUS
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 21.07.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMISTRY; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GLASS; MACHINE TOOLS; MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; METALLURGY; MINERAL OR SLAG WOOL; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SOLDERING OR UNSOLDERING; TRANSPORTING; WELDING; WORKING BY LASER BEAM

The invention relates to a method for dividing a transparent workpiece (1) by means of pulsed laser radiation (2) by way of producing a beam convergence zone (3) in the volume of the workpiece, the intensity of the laser radiation (2) in said beam convergence zone exceeding a threshold value for non-linear absorption, wherein the beam convergence zone (3) and the workpiece (1) are moved relative to one another and a planar weakening running along a predefined separating line (4) is thus produced in the workpiece (1), and wherein the workpiece (1) is subsequently divided along the separating line (4). The invention proposes suppressing non-linear propagation of the laser radiation (2) in the volume (1) of the workpiece outside the beam convergence zone (3) by way of selection of the duration of the energy input produced by the non-linear absorption of the pulsed laser radiation and by way of spatial beam shaping. L'invention concerne un procédé pour découper une pièce transparente (1) au moyen d'un rayonnement laser pulsé (2) en générant dans le volume de la pièce une zone de convergence de faisceau (3) dans laquelle l'intensité du rayonnement laser (2) dépasse une valeur seuil pour une absorption non linéaire, la zone de convergence de faisceau (3) et la pièce (1) étant déplacées l'une par rapport à l'autre et un affaiblissement de surface s'étendant le long d'une ligne de séparation (4) prédéfinie étant ainsi généré dans la pièce (1), la pièce (1) étant ensuite découpée le long de la ligne de séparation (4). Selon l'invention, le choix de la durée de l'apport d'énergie généré par l'absorption non linéaire du rayonnement laser pulsé et la mise en forme spatiale du faisceau permettent d'atténuer la propagation non linéaire du rayonnement laser (2) dans le volume (1) de la pièce en dehors de la zone de convergence de faisceau (3).