INVERTED CYLINDRICAL MAGNETRON (ICM) SYSTEM AND METHODS OF USE

• Main Authors: GUO, GEORGE XINSHENG, NGUYEN, OAHN, XU, TIANZONG
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 13.02.2014
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

An Inverted Cylindrical Magnetron (ICM) System and Methods of Use is disclosed herein generally comprising a co-axial central anode concentrically located within a first annular end anode and a second annular end anode; a process chamber including a top end and a bottom end in which the first annular end anode and the second annular end anode are coaxially disposed, whereby the first annular end anode, the second annular end anode, and the central anode form a 3-anode configuration to provide electric field uniformity, and the process chamber including a central annular space coupled to a tube insulator disposed about the central annular space wall; a cathode concentrically coupled to the tube insulator and a target; and a plurality of multi-zone electromagnets or hybrid electro-permanent magnets surrounding the exterior of the process chamber providing a tunable magnetic field. L'invention concerne un système de magnétron cylindrique inversé ainsi que des procédés d'utilisation associés. Le système selon l'invention comprend généralement une anode centrale co-axiale, située concentrique à l'intérieur d'une première anode d'extrémité annulaire et d'une deuxième anode d'extrémité annulaire ; et une chambre de traitement comprenant une extrémité supérieure et une extrémité inférieure dans lesquelles la première anode d'extrémité annulaire et la deuxième anode d'extrémité annulaire sont disposées coaxiales, la première anode d'extrémité annulaire, la deuxième anode d'extrémité annulaire et l'anode centrale formant une configuration à trois anodes destinée à fournir une uniformité de champ électrique, la chambre de traitement comprenant un espace annulaire central couplé à un isolateur en tube disposé autour de la paroi d'espace annulaire central ; une cathode couplée concentrique à l'isolateur en tube et une cible ; ainsi qu'une pluralité d'électro-aimants multi-zones ou d'aimants électro-permanents hybrides entourant l'extérieur de la chambre de traitement fournissant un champ magnétique accordable.