高平整度和低损伤碳化硅晶片的纳米磨削技术（英文）

• Published in: 中国有色金属学报：英文版 Vol. 22; no. 12; pp. 3027 - 3033
• Main Author: 霍凤伟 郭东明 康仁科 冯光
• Format: Journal Article
• Language: English
• Published: 2012
• Subjects: 平整度; 损伤; 杯形砂轮; 碳化硅晶片; 纳米磨削; 表面粗糙度