台阶聚束AlN高温热退火形貌演化研究 - 聂子凯; 贲建伟; 张恩韬; 马晓宝; 张山丽; 石芝铭; 吕顺鹏; 蒋科; 孙晓娟; 黎大兵 (人工晶体学报, 2023)
Keywords: 台阶聚束; 热刻蚀; 斜切衬底; 表面形貌; AlN; 高温热退火; 氮化铝; thermal etch; high-temperature anneal; surface morphology; miscut substrate; step bunching