光栅直线位移测量技术研究进展与展望 - 赵志财; 于海; 万秋华; 赵长海; 李勇杰 (电测与仪表, 2025)
TM932; 直线位移测量技术在机械精密制造领域扮演着至关重要的角色,是保证加工精度的关键.与其他直线位移测量技术相比,光栅直线位移测量技术具有测量精度高、抗干扰能力强,易于实现大量程测量等优点,已成为当下研究热点之一,为进一步开展光栅直线位移测量技术研究,文中分析了三种光栅直线位移测量系统的测量原理,归纳整理了三种光栅直线位移测量的研究进展,并总结现有研究的优点与存在的不足:基于莫尔条纹的光栅直线位移测量技术受限于衍射极限的影响,分辨力难以进一步提高,基于衍射光栅的直线位移测量技术难以实现绝对位置测量,基于图像处理算法的直线位移测量技术存在集成化程度较低、测量范围有限等缺点,展望了光栅直线位移测量技术的发展方向.为开展光栅直线位移测量技术研究提供依据.