双层复合纳米森林结构的制备及其宽光谱高吸收光学特性研究

G301; 基于等离子体再聚合技术制备了纳米纤维—纳米锥双层森林结构,并通过磁控溅射工艺在结构表面引入金属纳米颗粒实现了双层复合纳米森林结构,工艺流程简单便捷,与常规微纳加工工艺兼容性好,易于实现大面积的并行加工.将纳米森林的陷光效应和金属纳米颗粒的表面等离激元效应相结合,对双层复合纳米森林结构的光吸收特性进行深入研究与探索,最终实现了该复合纳米森林结构在1.5~25 μm波长范围内84.1%的平均吸收率.具有宽光谱高吸收光学特性的双层复合纳米森林结构有望在提高红外器件性能和拓展器件应用等方面获得广泛应用....

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Published in红外与毫米波学报 Vol. 37; no. 2; pp. 246 - 250
Main Authors 杨宇东, 毛海央, 李锐锐, 贾云丛, 熊继军, 王玮冰
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 中国科学院微电子研究所智能感知研发中心,北京 100029%中国科学院微电子研究所智能感知研发中心,北京,100029%中北大学仪器与电子学院,山西太原,030051 01.04.2018
中北大学仪器与电子学院,山西太原 030051
Subjects
宽光谱高吸收
plasma repolymerization
broadband high absorption
等离子体再聚合
纳米森林结构
nanoforests
表面等离激元
surface plasmon
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ISSN1001-9014
DOI10.11972/j.issn.1001-9014.2018.02.019

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Summary:G301; 基于等离子体再聚合技术制备了纳米纤维—纳米锥双层森林结构,并通过磁控溅射工艺在结构表面引入金属纳米颗粒实现了双层复合纳米森林结构,工艺流程简单便捷,与常规微纳加工工艺兼容性好,易于实现大面积的并行加工.将纳米森林的陷光效应和金属纳米颗粒的表面等离激元效应相结合,对双层复合纳米森林结构的光吸收特性进行深入研究与探索,最终实现了该复合纳米森林结构在1.5~25 μm波长范围内84.1%的平均吸收率.具有宽光谱高吸收光学特性的双层复合纳米森林结构有望在提高红外器件性能和拓展器件应用等方面获得广泛应用.
ISSN:1001-9014
DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2018.02.019