超薄纳米薄膜的划痕硬度评价方法及应用
TH117.1; 纳米压痕是一种常用的薄膜硬度评价方法.然而,当薄膜厚度＜ 10nm时,该方法难以去除基体对薄膜硬度的影响,因而无法获得薄膜自身的硬度,限制了纳米结构与硬度之间关系的认知,阻碍了超薄纳米结构薄膜的应用.本研究提出一种基于纳米压痕硬度标定下的纳米划痕硬度评价方法,并将其应用于纳米结构碳膜的硬度研究.首先,利用自行设计搭建的纳米刻划装置,通过对比碳膜在纳米划痕和纳米压痕方法下的残余变形深度,分析不受基体影响的临界薄膜厚度,得到纳米划痕深度不受基体影响的临界薄膜厚度.其次,采用压头形状等效接触模型,利用划痕的残余顶角、宽度和深度,通过计算压头前端的接触压力分布得到硅基体的纳米划痕硬度...
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| Published in | 深圳大学学报（理工版） Vol. 36; no. 5; pp. 510 - 518 |
|---|---|
| Main Authors | , |
| Format | Journal Article |
| Language | Chinese |
| Published |
广东省微纳光机电工程重点实验室,广东深圳518060
30.09.2019
深圳大学纳米表面科学与工程研究所,广东深圳518060 |
| Subjects | |
| Online Access | Get full text |
| ISSN | 1000-2618 |
| DOI | 10.3724/SP.J.1249.2019.05510 |
Cover
| Abstract | TH117.1; 纳米压痕是一种常用的薄膜硬度评价方法.然而,当薄膜厚度＜ 10nm时,该方法难以去除基体对薄膜硬度的影响,因而无法获得薄膜自身的硬度,限制了纳米结构与硬度之间关系的认知,阻碍了超薄纳米结构薄膜的应用.本研究提出一种基于纳米压痕硬度标定下的纳米划痕硬度评价方法,并将其应用于纳米结构碳膜的硬度研究.首先,利用自行设计搭建的纳米刻划装置,通过对比碳膜在纳米划痕和纳米压痕方法下的残余变形深度,分析不受基体影响的临界薄膜厚度,得到纳米划痕深度不受基体影响的临界薄膜厚度.其次,采用压头形状等效接触模型,利用划痕的残余顶角、宽度和深度,通过计算压头前端的接触压力分布得到硅基体的纳米划痕硬度,与纳米压痕硬度标定结果一致.最后,将纳米划痕硬度方法应用在电子回旋共振等离子体溅射方法制备的3种不同纳米结构碳膜上,得到交联结构碳膜和非晶碳膜的硬度分别约为19.1 GPa和14.6 GPa,高于硅基体11.2 GPa的硬度,而石墨烯嵌入式碳膜的硬度约为2.7GPa.分析不同纳米结构碳膜的刻划机理表明,在sp2含量较高的纳米结构碳膜中,sp3含量并不是决定碳膜力学特性的唯一因素,小尺度、多石墨烯层间交联结构能够有效增加层间的剪切强度,薄膜展现出较好的耐刻划特性.研究结果有助于进一步拓展纳米划痕方法的应用,也为不同纳米结构碳膜的应用提供了理论基础. |
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| AbstractList | TH117.1; 纳米压痕是一种常用的薄膜硬度评价方法.然而,当薄膜厚度＜ 10nm时,该方法难以去除基体对薄膜硬度的影响,因而无法获得薄膜自身的硬度,限制了纳米结构与硬度之间关系的认知,阻碍了超薄纳米结构薄膜的应用.本研究提出一种基于纳米压痕硬度标定下的纳米划痕硬度评价方法,并将其应用于纳米结构碳膜的硬度研究.首先,利用自行设计搭建的纳米刻划装置,通过对比碳膜在纳米划痕和纳米压痕方法下的残余变形深度,分析不受基体影响的临界薄膜厚度,得到纳米划痕深度不受基体影响的临界薄膜厚度.其次,采用压头形状等效接触模型,利用划痕的残余顶角、宽度和深度,通过计算压头前端的接触压力分布得到硅基体的纳米划痕硬度,与纳米压痕硬度标定结果一致.最后,将纳米划痕硬度方法应用在电子回旋共振等离子体溅射方法制备的3种不同纳米结构碳膜上,得到交联结构碳膜和非晶碳膜的硬度分别约为19.1 GPa和14.6 GPa,高于硅基体11.2 GPa的硬度,而石墨烯嵌入式碳膜的硬度约为2.7GPa.分析不同纳米结构碳膜的刻划机理表明,在sp2含量较高的纳米结构碳膜中,sp3含量并不是决定碳膜力学特性的唯一因素,小尺度、多石墨烯层间交联结构能够有效增加层间的剪切强度,薄膜展现出较好的耐刻划特性.研究结果有助于进一步拓展纳米划痕方法的应用,也为不同纳米结构碳膜的应用提供了理论基础. |
| Author | 刁东风 范雪 |
| AuthorAffiliation | 深圳大学纳米表面科学与工程研究所,广东深圳518060;广东省微纳光机电工程重点实验室,广东深圳518060 |
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| Author_FL | FAN Xue DIAO Dongfeng |
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| DOI | 10.3724/SP.J.1249.2019.05510 |
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| DocumentTitle_FL | Nanoscratch hardness evaluation method on ultrathin nano-films and its application |
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| Issue | 5 |
| Keywords | 测试计量技术及仪器 纳米结构 硬度 纳米划痕 碳膜 纳米压痕 |
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| PublicationDecade | 2010 |
| PublicationTitle | 深圳大学学报（理工版） |
| PublicationTitle_FL | Journal of Shenzhen University(Science & Engineering) |
| PublicationYear | 2019 |
| Publisher | 广东省微纳光机电工程重点实验室,广东深圳518060 深圳大学纳米表面科学与工程研究所,广东深圳518060 |
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| Title | 超薄纳米薄膜的划痕硬度评价方法及应用 |
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