InAs/GaSb Ⅱ类超晶格材料的Si离子注入研究 - 何苗; 周易; 应翔霄; 梁钊铭; 黄敏; 王志芳; 朱艺红; 廖科才; 王楠; 陈建新 (红外与毫米波学报, 2024)
Keywords: 平面结; InAs/GaSb Type Ⅱ superlattice; planar junction; ion implantation; 离子注入; 退火; annealing; HRXRD; InAs/GaSb Ⅱ类超晶格