低占空比红外增强吸收的量子阱微柱阵列

• Published in: 红外与毫米波学报 Vol. 40; no. 1; pp. 1 - 6
• Main Authors: 叶新辉, 谢天, 夏辉, 陈熙仁, 李菊柱, 张帅君, 姜新洋, 邓伟杰, 王文静, 李玉莹, 刘伟伟, 刘芳, 李天信
• Format: Journal Article
• Language: Chinese
• Published: 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083%中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083%中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083 01.02.2021; 上海师范大学数理学院,上海 200234%中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083; 上海科技大学物质科学与技术学院,上海 201210%上海理工大学材料科学与工程学院,上海 200093; 上海理工大学材料科学与工程学院,上海 200093
• Subjects: 量子阱红外探测器; 占空比; 亚波长微柱阵列; 红外反射谱
• ISSN: 1001-9014
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2021.01.001

TN215; 为了提高长波红外量子阱探测器的光耦合效率和信噪比,以8.7μm为中心波长,设计和制备了量子阱亚波长微柱阵列结构.与已经报道的金属或介质微腔结构不同,本文的微柱结构有源区包含50周期的量子阱/垒层,结合低至0.18的占空比,可望在增强吸收的同时显著抑制暗电流.红外光谱测量验证了制备的微柱阵列在8～9μm波段8％以内的低反射率特征,从而为高工作温度、高信噪比的长波红外探测提供了新方案.