同步辐射光电离质谱检测氟原子在二氧化硅表面反应产物 - 汪程程; 唐小锋; 温作赢; 王涛; 张翠红; 杨玖重; 顾学军; 张为俊 (质谱学报, 2020)
Keywords: 氟原子; 电离能; 微波放电; 同步辐射; 真空紫外光电离质谱; 二氧化硅