反应磁控溅射法制备F掺杂ZnO(FZO)薄膜的结构和透明导电性能 - 祝柏林; 郑思龙; 谢挺; 吴隽 (材料工程, 2021)
Keywords: 复合靶材; 反应溅射; FZO薄膜; 透明导电性; 禁带宽度