마스크 기반 전해증착을 통한 미세 전극 형상 제작 - 박민수(MinSoo Park); 김재경(JaeKyung Kim) (한국생산제조학회지, 2019)
Keywords: 기계공학; Electrochemical deposition; Ion diffusion; Micro electrode; Micro deposition; Multistage structured mask